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本文从硅烷气体的纯度、使用环节硅烷质量的保证、硅烷纯度和杂质的分析检测方法和仪器设备等方面对国内外超纯硅烷质量水平进行了分析，并对硅烷的国内外市场情况及硅烷的产能情况进行了简述，提出了硅烷产业化发展现状与对策，及产业化发展的存在问题与对策。
超纯硅烷的产业化发展之路
【摘 要】
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本文从硅烷气体的纯度、使用环节硅烷质量的保证、硅烷纯度和杂质的分析检测方法和仪器设备等方面对国内外超纯硅烷质量水平进行了分析，并对硅烷的国内外市场情况及硅烷的产能
【机 构】
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南京特种气体厂有限公司211113,江苏南京
【出 处】
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中国工业气体行业发展高峰论坛
【发表日期】
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2008年5期
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