金属--P型金刚石肖特基势垒性能

来源 :第六届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meishan802
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该文报道金属--P型金刚石薄膜的肖特基势垒性能。在低阻Si单晶衬底上,用微波等离子体CVD法生长掺硼的多晶金刚石薄膜,用金属与P型金刚石薄膜接触的方法获得金刚石薄膜的肖特基势垒性能。经测试分析,在10V范围内有4个数量级的整流性能。
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