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微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点,近年来发展迅速,在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中,精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯片而言,没有可动部件,不需要复杂的微泵微阀结构和控制,成为当前研究的热点。本文基于静电力的驱动原理,只需单层控制电极,工艺简单,通过优化结构,采用高介电常数介质层和减少介质层厚度,大大降低了液滴驱动电压。