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利用表面放电光泵浦技术研制了重频XeF(C-A)激光器,最大运行频率达到10Hz.研究了重复频率及流气速率对激光输出稳定性的影响并分析了主要影响因素.实验结果表明,提高流气速率能够有效地提高输出能量稳定性.文章给出了不同重复频率下的最佳实验条件及连续20个激光脉冲的输出能量.重复频率在1～5Hz条件下,输出能量超过4J并且输出稳定性较好.当气流量达到S3L/s时,10Hz重频运行可获得较好的输出稳定性,20个激光脉冲的平均输出能量也达到3.2J.