全熱交換器於半導體廠房之節能應用

来源 :首届海峡两岸四地制冷空调工程节能减排新技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qncy1235i
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台湾系属高温高湿之气候,因而除湿与空调等相关科技在环境温湿度控制占有很重要的地位。且台湾现正朝向高精密、高附加价值之产业迈进,作业环境要求精准之半导体业、光电产业、精密制造、通讯电脑、制药业等对低湿度环境之要求极为迫切,使得寻找更精良及更先进之除湿技术成为当务之急。本论文主要探讨全热交换器於半导体厂房的应用,将无尘室机台排出之一般热排气与MAU外气空调箱之引入外气作全热交换,以回收无尘室排出之冶能,可达节能减碳之效果。 由实际厂内之运转节能监控资料分析,全热交换器应用在MAU外气之除湿确有节能之效益。
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