在真空计量中，气体微流量计通常作为一种基础标准，用于气体微流量的测量及校准。为了提高气体微流量的测量精度，兰州物理研究所建立了一台高精度气体微流量计，能够采用定容法，恒压法及固定流导法三种工作模式，分别提供10-2～10-4Pa·m3/s，10-4～10-8Pa·m3/s10-8～10-11Pa·m3/s的流量，延伸了流量的测量范围。由于容积值为气体微流量计的重要工作参数之一，因此气体微流量的测量和校准精度也取决于容积值的测量精度。通过对称重法和静态膨胀法等两种容积测量方法的优缺点的比较，采用静态膨胀法测量高精度气体流量计工作用容积，得到了高精度气体流量计工作用容积值，并对测量结果进行了不确定度的评定。该测量方法具有原位置测量，操作简单，测量精度高等优点，满足了高精度气体微流量计的工作要求。