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采用真空磁悬浮法制备了4个成分的TiNiPd合金,利透射电子显微镜原位观察了合金在加热及冷却过程中的相变过程,试验结果发现:在该实验选用的Pd含量范围内,TiNiPd合金在室温状态下均为正方结构,其晶体常数为a=0.2601nm,b=0.4371nm,c=0.4037nm;在加热过程中,马氏体片的界面未发现明显的移动,但马氏体片内的挛晶组织发生的明显的变化;TiNiPd合金的相变点As,Af,Ms,Mf均随Pd含量的增加而升高,且Pd含量大于33at℅后,对组元的变化更加敏感。