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核反应堆材料中氦的滞留量是评估材料安全性能的重要指标。本文给出了用离子束来弹性反冲探测氦的能谱、分析薄膜材料中的氦元素含量及其深度分布的基本原理和实验方法。采用12兆电子伏特的碳离子作为探针进行前向弹性反冲出金属锆膜中的氦，通过解析能谱，获得氦的含量和深度分布；同时，针对不同温度退火后的薄膜材料中氦含量进行了对比分析。