The mid and low-spatial frequency error control technology research during the procees with Ion-beam

来源 :第二届射线成像新技术及应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：purpleplain

【摘要】

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【作者】

：

Zhu Heng Yan Ding-yao Ma ping

【机构】

：

Fine Optical Engineering Research Center,Chengdu,Chengdu 610041,P.R.China

【出处】

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第二届射线成像新技术及应用研讨会

【发表日期】

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2018年9期

【关键词】

：

大口径熔石英标准镜中低频指标 PSD值收敛效率仿真分析参数优化

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　　本文针对630mm熔石英标准镜离子束抛光过程中的面形误差控制技术进行了相应研究,在研究过程中采用国产IBF650型号离子束抛光机对环形抛光加工完成的大口径平面熔石英元件进行中低频表面误差修正,采用三种直径的离子束光斑去除函数分布进行了误差分析和仿真模拟,并进行了相应参数优化,根据每次加工后的误差分布情况选择合适的去除函数进行驻留时间计算,在加工过程中实现了中频PSD误差以及低频面形误差的同步控制,最终加工完成的通光口径内标准镜表面面形PV(99％)≤λ/20,RMS≤5nm,中频波前误差RMS(PSD1：2.5mm～33mm带频率误差)≤1.5nm；这块标准镜的中低频面形精度达到了国产大口径干涉仪对大口径光学元件中频指标(2.5mm～33mm频带)的测量技术指标要求.

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