论文部分内容阅读
该文采用直流磁控溅射法直接溅射烧结型SiC靶材制备SiC薄膜，通过控制系统的真空度和绝缘性能，得到了非晶SiC薄膜。研究了气体压力、溅射功率、靶基距等工艺条件对沉积速率的影响。测试了薄膜的硬度和热敏特性。
直流磁控溅射SiC薄膜的制备与性能
【摘 要】
：
该文采用直流磁控溅射法直接溅射烧结型SiC靶材制备SiC薄膜，通过控制系统的真空度和绝缘性能，得到了非晶SiC薄膜。研究了气体压力、溅射功率、靶基距等工艺条件对沉积速率的影
【机 构】
：
联合大学无机材料系(成都)
【出 处】
：
第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
：
1998年期
其他文献
该文详细分析了ＢＵＣＫ高频直流变换器中主功率管的电压尖峰、电流尖峰及续流二极管的电压尖峰产生的原因，并在此基础上提出了解决措施。设置了独特的过流保护点及保护方式。使得ＢＵＣＫ高频
本文在直流不间断供电开关电源新概念的基础上,具体地给出该电源的方案组成、电路原理和分析以及实验结果,给出该电源可行的结论.
该文简述了现行ＵＰＳ，明确指出ＵＰＳ的问题后，提出了一个基于专利技术的新型直流不间断供电电源（ＤＣＵＰＳ）的新构想，并给出了ＵＰＳ的方案和组成。对现行ＵＰＳ和ＤＣＵＰＳ分析对比后，论述了ＣＤＵＰＳ的优越性以及ＵＰＳ所带来不间断供电系
作者采用直流磁控溅射和后热处理的方法制备出了具有较纯超导相和高度C-轴织构的(CuT1)-1223超导薄膜。超导转变温度为101K。薄膜呈现均匀的片状结构。并对薄膜的氧掺 杂进行
该文论述了国内外直流大电流测量技术的发展和现状，从理论上介绍了霍尔变换器的电磁转换机理和特性。结合实际应用情况分析了几种采用霍尔变换器测量直流大电流的原理和方法、
对直流磁场影响下铁磁性材料载荷变化时摩擦磨损的研究表明，各种载荷下磁场都能显著减小摩擦、减轻磨损。认为有磁场时形成了三体磨损并导致氧化磨损比例增加是摩擦磨损减轻的