【摘 要】
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本文结合磁致伸缩铁钴合金(FeCo)薄膜,设计制作了基于磁致伸缩效应的声表面波(SAW)电流传感器,并对其特性进行实验研究.设计制作了150MHz声表面波延迟线器件,压电基片采用128°YX-LiNbO3,在其表面覆盖与其温度系数极性相反的SiO2薄膜来改善器件温度稳定性,并溅射磁致伸缩FeCo薄膜以监测电流量.在电流产生磁场作用下,FeCo薄膜发生磁致伸缩应变,进而引起声表面波相速度的改变.本文
【机 构】
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中国科学院声学研究所,北京100190
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本文结合磁致伸缩铁钴合金(FeCo)薄膜,设计制作了基于磁致伸缩效应的声表面波(SAW)电流传感器,并对其特性进行实验研究.设计制作了150MHz声表面波延迟线器件,压电基片采用128°YX-LiNbO3,在其表面覆盖与其温度系数极性相反的SiO2薄膜来改善器件温度稳定性,并溅射磁致伸缩FeCo薄膜以监测电流量.在电流产生磁场作用下,FeCo薄膜发生磁致伸缩应变,进而引起声表面波相速度的改变.本文对镀有不同厚度、不同长宽比FeCo薄膜的声表面波器件进行实验,得到最优化的薄膜厚度和长宽比,分别为500nm和1.5∶1,此时声表面波电流传感器的灵敏度为8.375KHz/A.
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