随着国防科技的发展，对等离子体技术应用的需求越来越广泛。朗缪尔探针作为一种最为基本和可靠的诊断工具，在各类实验中具有广泛的应用价值。对于喷流等离子体，人们更关心的是其各项参数随时间和空间的分布规律。阵列扫描探针技术正是在这一需求下产生的，它是目前实现喷流等离子体时空参数诊断的最有效的方法。我们研制了一套十路阵列扫描探针系统，主要是用来完成密度在108~1013cm-3范围内的喷流等离子体参数的时空测量。该系统既可定点测量也可扫描测量。利用这套探针系统，我们完成了喷流等离子体发生器电子密度、电子温度等参数在流场不同截面上空间分布的实时测量，从而可以获得喷流等离子体的轴向和横向电子密度和温度等参数的时空分布。为验证上述测量结果的可信度，我们同时使用多路光纤光谱仪对同一喷流等离子体参数同步测量，其实验结果与探针比对，证实了阵列扫描探针诊断技术的可靠性。这是了解推进器的性能、等离子体参数的时空分布以及推进器流场特性必不可少的诊断手段。