【摘 要】
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采用将极薄金属反射层直接镀制在宽波段高反射介质膜堆上的无间隔层法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉滤光片结构,设计了一种新颖的多通道反射滤光片。适当设计介质膜堆的相位特
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
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采用将极薄金属反射层直接镀制在宽波段高反射介质膜堆上的无间隔层法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉滤光片结构,设计了一种新颖的多通道反射滤光片。适当设计介质膜堆的相位特性,并利用极薄金属薄膜的高吸收率和透射特性,在介质膜堆反射相位为0和π的波长处分别达到反射率的极小值和极大值,实现多通道反射滤光。该滤光片有望用于投影屏幕、多光谱成像仪等设备。实验在SiO2和TiO2交替的多层介质膜堆上镀制5nm厚的金属铬(Cr)薄膜,获得在450nm、539nm、632nm处反射率大于85%的红绿蓝反射峰,反射半高全宽35~40nm,在406nm、500nm、589nm、689nm处得到反射率2.86%~9.58%的截止度,证明所设计的金属-介质F-P型滤光片能够实现高反射、较深截止的多通道反射滤光。
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