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综述了溶胶－凝胶法在Ｓｉ－Ｎ－Ｏ薄膜制备中的应用与影响。用溶胶－凝胶法可降低Ｓｉ－Ｎ－Ｏ薄膜制备温度，缩短氮化反应时间，获得较高氮含量且氮原子分布均匀Ｓｉ－Ｎ－Ｏ薄膜，并分析了ＮＨ〈，３〉与ＳｉＯ〈，２〉凝胶的反应机理。
溶胶-凝胶法在Si-N-O薄膜制备过程中的应用
【摘 要】
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综述了溶胶－凝胶法在Ｓｉ－Ｎ－Ｏ薄膜制备中的应用与影响。用溶胶－凝胶法可降低Ｓｉ－Ｎ－Ｏ薄膜制备温度，缩短氮化反应时间，获得较高氮含量且氮原子分布均匀Ｓｉ－Ｎ－Ｏ薄膜，并分析了ＮＨ〈，３〉与ＳｉＯ〈，２〉凝胶的反应机理。
【机 构】
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大学无机非金属材料研究所(杭州)
【出 处】
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全国第二届溶胶-凝胶科学技术学术会议
【发表日期】
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1997年期
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