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SiN<,4>与SiNxHy两种氢离子敏感膜特性比较
【机 构】
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大学
【出 处】
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第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
:
1995年期
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针对目前国内电厂在发电机气体置换时,所选用的发电机气体置换方法存在不足,提出开发一种新的复合式气体置换法。该方法充分吸取了中间介质置换法和真空置换法的各自优点,在保证