柔性基片上透明导电薄膜(In<,2>O<,3>:Sn和ZnO:Al)的直流磁控反应溅射

来源 :'98全国材料表面与界面的科学与工程研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:popelrain2009
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