【摘 要】
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MEMS(Micro electrics and mechanical system-微电子微机械)结构多是微尺度、多材料集成在一起的小型结构件,在温度和外加载荷(冲击、振动)作用下容易发生可靠性降低,甚至局部裂纹萌生、扩展和断裂.传统的可靠性研究方法是加速失效试验,对其局部失效机制及其影响因素,特别是失效过程中的裂纹(变形)演化缺乏足够的试验方法和试验观测数据支持.本研究针对MTS焊点结构和整个
【机 构】
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清华大学,航天航空学院,工程力学系
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MEMS(Micro electrics and mechanical system-微电子微机械)结构多是微尺度、多材料集成在一起的小型结构件,在温度和外加载荷(冲击、振动)作用下容易发生可靠性降低,甚至局部裂纹萌生、扩展和断裂.传统的可靠性研究方法是加速失效试验,对其局部失效机制及其影响因素,特别是失效过程中的裂纹(变形)演化缺乏足够的试验方法和试验观测数据支持.本研究针对MTS焊点结构和整个电路板进行了SEM原位观测疲劳裂纹萌生与扩展试验.
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通过常温下三点弯曲试样的断裂实验和扫描电镜观察,对新型核电设备镍基合金(52M)异种金属焊接接头不同区域的断裂机制进行了分析研究.结果显示,由异种金属焊接接头中微观组织的不均匀性和局部强度失配所决定的不同断裂机制决定了接头不同区域的局部断裂阻力.接头中的A508低合金钢母材和316L不锈钢母材的组织分别为贝氏体+马氏体和奥氏体+少量铁素体组织,其断裂机制为典型的微孔洞型延性断裂.
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