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硅基分子筛
硅基分子筛
被引量 : 0次 | 上传用户:lianjinling27
【摘 要】
:
在生命科学高度发展的今天,生物分子的研究必须基于一组高效的分离和净化系统。基于MEMS技术的发展,我们在超薄LPCVD(低压化学气相沉积)氮化硅上,成功地制备了孔径一致,且排
【作 者】
:
刘艳松
丁明正
李俊峰
赵超
【机 构】
:
中国科学院微电子研究所;
【发表日期】
:
2004年期
【基金项目】
:
中国科学院微电子所微电子器件与集成技术重点实验室给予的资金支持
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在生命科学高度发展的今天,生物分子的研究必须基于一组高效的分离和净化系统。基于MEMS技术的发展,我们在超薄LPCVD(低压化学气相沉积)氮化硅上,成功地制备了孔径一致,且排列有序硅基分子筛。基于半导体技术,该微筛可以低成本的实现大规模生产。
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