【摘 要】
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以含氟二胺TFDB和含氟二酐6FDA为原料,通过两步法制备含氟聚酰亚胺（FPA）,以原位聚合的方法制备了含有不同质量分数的二氧化硅纳米粒子的复合薄膜。利用FT-IR和SEM对复合膜的化
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院; 中南大学粉末冶金国家重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50703048)
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以含氟二胺TFDB和含氟二酐6FDA为原料,通过两步法制备含氟聚酰亚胺（FPA）,以原位聚合的方法制备了含有不同质量分数的二氧化硅纳米粒子的复合薄膜。利用FT-IR和SEM对复合膜的化学结构和形态进行了表征,证实复合膜的热亚胺化较为完全,二氧化硅粒子以大分散小聚集的形式均匀地分布于聚酰亚胺基体中。对复合薄膜的物理性质进行了考察。热重分析表明复合薄膜与纯含氟聚酰亚胺一样具有很好的热稳定性。复合薄膜的电阻率随着二氧化硅含量的增加而增大,而吸水率是下降的。材料的介电常数随着二氧化硅含量增加略有升高,在含量为7.5%（质量分数）时其值仍<3。制备的FPI/nano-SiO2是一种具有良好热稳定性、低吸水率和低介电常数的复合材料,可望在微电子领域有重要的应用。
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