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会议论文
MEMS--从开始到现在
MEMS--从开始到现在
来源 :中国电子学会第十八届青年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chunguangdong
【摘 要】
:
微机电系统(MEMS)是目前极具发展潜力的一个学科。本文总结了其发展历程,对微型传感器与微型执行器两关键元件作了概述,并详细说明了MEMS在航空航天、消费移动电子、光学、
【作 者】
:
Xie Min
谢敏
Wang Cong-si
王从思
Wang Wei
王伟
Qu Yang
屈扬
Duan Qi-jun
段奇君
【机 构】
:
KeyLaboratoryofElectronicEquipmentStructureDesign,MinistryofEducation,XidianUniversity,Xi'an710071,
【出 处】
:
中国电子学会第十八届青年学术年会
【发表日期】
:
2012年12期
【关键词】
:
微机电系统
技术创新
工程应用
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微机电系统(MEMS)是目前极具发展潜力的一个学科。本文总结了其发展历程,对微型传感器与微型执行器两关键元件作了概述,并详细说明了MEMS在航空航天、消费移动电子、光学、生物医学,特别是在射频微机电领域的应用情况与发展现状,同时展望了MEMS在多个领域的发展前景。
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