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利用射频磁控溅射法制备TiO2薄膜，研究了薄膜沉积后不同热处理度以及不同溅射气氛下制备的TiO2薄膜再进行热处理对薄膜物相的影响规律，通过摸索条件，成功的制备了具有锐钛矿结构的TiO2薄膜。利用优化后的工艺参数沉积TiO2薄膜，制备了Ag/TiO2/Au及Au/TiO2/Au三明治结构，并研究了这两种结构的阻变性能，结果表明，这两种结构表现出了不同的阻变特性。