半导体器件尺寸变化对单粒子翻转的影响

来源 :第十一届全国蒙特卡罗方法及其应用学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunrisekarl
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  随着制造工艺技术的不断发展,器件的结构尺寸不断缩小,存储单元灵敏区的体积及其发生单粒子翻转的临界能量随之减小,高能粒子辐照时在灵敏区中造成的能量沉积也在减少,而器件灵敏度增加,由此可能影响到器件辐照的单粒子翻转效应。本文针对该问题,利用GEANT4模拟了400MeV质子在三种不同结构尺寸静态随机存储器中的输运过程,计算了器件单粒子翻转和多位翻转截面,分析了器件结构尺寸减小对单粒子翻转和多位翻转效应的影响。结果表明,随着结构尺寸的减小,静态随机存储器的单粒子翻转截面缓慢减小,而多位翻转截面随之迅速增加,器件尺寸越小,多位翻转效应将更加明显。
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