【摘 要】
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本研究采用具有较高相对密度(97%以上)的ITO靶材作样品,进行磁控溅射毒化实验;利用X-射线衍射(XRD)、X-射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能量色散谱仪(EDS)等表征检测手段分别对比了ITO靶材样品在溅射前后ITO靶材的微观组织、物相变化、元素分布,以及对结瘤状态与原因进行了分析研究.结果表明:靶材毒化的主要与靶材中的孔洞及ITO靶材的晶粒大小密切相关.
【机 构】
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郑州大学河南省资源与材料工业技术研究院,河南郑州450001
【出 处】
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中国工程院化工、冶金与材料工程第十二届学术会议
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本研究采用具有较高相对密度(97%以上)的ITO靶材作样品,进行磁控溅射毒化实验;利用X-射线衍射(XRD)、X-射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能量色散谱仪(EDS)等表征检测手段分别对比了ITO靶材样品在溅射前后ITO靶材的微观组织、物相变化、元素分布,以及对结瘤状态与原因进行了分析研究.结果表明:靶材毒化的主要与靶材中的孔洞及ITO靶材的晶粒大小密切相关.
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