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介绍了目前人们对非晶硅表面钝化本质的认识在半导体物理方面多限于钝化后硅片少子寿命的提高以及由此推算所得表面复合速率的大小,认为这还不能清晰解答钝化作用的本质,因为钝化薄膜的作用包括对悬挂键的减少以及表面固定电荷的变化等多种机制.
C-V法分析本征非晶硅薄膜钝化晶体表面的特性
【摘 要】
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介绍了目前人们对非晶硅表面钝化本质的认识在半导体物理方面多限于钝化后硅片少子寿命的提高以及由此推算所得表面复合速率的大小,认为这还不能清晰解答钝化作用的本质,因为钝化薄膜的作用包括对悬挂键的减少以及表面固定电荷的变化等多种机制.
【机 构】
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南昌大学 光伏研究院,江西南昌,330031;南昌大学 理学院,江西南昌,330031 南昌大学
【出 处】
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第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
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2016年10期
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