α-Al2O3上磁控溅射NiAlRu涂层及其表面高温氧化行为

来源 :第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jacychang
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  研究发现,高温合金基体上涂层中Ru的添加可以降低NiAl涂层中Al元素的内扩散及高温合金内部难熔元素的外扩散,有效地抑制了合金基体中拓扑密堆相和二次反应区的形成.这是因为Ru的内扩散可以在界面处形成δ-Ru相或者与Al和难熔元素Ta形成析出相Ru2AlTa,从而抑制Al等元素在界面处的扩散,提高NiAl基涂层的高温抗氧化性能.然而还甚少有研究当Ru外扩散或甚少内扩散时,NiAlRu本身的高温抗氧化性能研究.本文选取磁控溅射系统在α-Al2O3基体上沉积NiAlRu涂层,尽量减少Ru,Al等元素内扩散的可能性,研究其本身的高温抗氧化性能.利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)等分析NiAlRu涂层中Ru含量,涂层晶粒尺寸等对其在1000℃抗氧化性能的影响.结果表明,当Ru含量在10at.%左右时,涂层表面形成一层致密的α-Al2O3氧化物;而当Ru含量增加到20at.%左右时,涂层表面除了α-Al2O3外,还有部分Ni,Ru成分,抗氧化性能降低.
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