【摘 要】
：
利用水平式低压热壁CVD生长系统,在N型4H-SiC(0001)面的导电型衬底上进了两次外延生长,成功生长出了FJ(Floating Junction-FJ)结构的4H-SiC双层同质外延材料,利用原子力显微
【机 构】
：
西安电子科技大学 先进材料与纳米科技学院,陕西 西安 710071
【出 处】
：
第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
论文部分内容阅读
利用水平式低压热壁CVD生长系统,在N型4H-SiC(0001)面的导电型衬底上进了两次外延生长,成功生长出了FJ(Floating Junction-FJ)结构的4H-SiC双层同质外延材料,利用原子力显微镜(AFM) 、莱卡光学显微镜、和拉曼光谱分析(Raman)对SJ结构的4H-SiC双层同质外延材料的特性进行研究,发现外延层表面光滑且有很好的晶格结构和完整性.AFM 测试显示表面均方根粗糙度为0.298nm,.Raman谱线表现出典型的4H-SiC特征.随后,在基于该材料制备出了SJ-肖特基二极管(FJ-SBD),在没有终端保护的情况下,器件的击穿电压接近1000V,比制备在同等厚度的传统单层4H-SiC外延材料上的SBD的击穿电压提高了400V,器件FOM值提高了接近4倍.
其他文献
本文研究了在不同浓度氮(N)掺杂对6H-SiC热氧化速率的影响,掺杂浓度分别为9.53×1016cm-3、1.44×1017cm-3、2.68×1018cm-3.在干氧条件下,分别在1050℃和1150℃温度下,氧化2
目的:检测结直肠癌组织中负性共刺激分子B7-H1和B7-H4的表达、T细胞亚群的浸润情况,探讨其临床意义。方法:收集苏州大学附属第四医院2003年1月至2003年12月50例结直肠癌患者
世世代代的日本农民都认为,雷击会让蘑菇增产。为此,科学家进行了一项时间达4年的研究,利用人为诱发的闪电轰击种植在实验园地中的蘑菇品种,来实验电力是否真的能促进真菌繁
碳-碳键的裂解反应作为一种有用的合成工具可用于构建许多有价值的化合物,该类反应目前受到了许多关注,并在农药、药物和材料领域得到了广泛应用[1].在过去的几十年中,碳-碳
砜是天然产物和活性分子中常见的结构,也是合成反应的重要中间体.利用5-氯-8-氨基喹啉(AQ')作为双齿导向基团,以各种芳基亚磺酸钠为磺酰化试剂,通过铜催化实现了邻位C(sp2)—
摘要：多媒体集声音图像文字等为一体，可以有效地把动态的事物变成静态的，抽象的知识直观形象化，无声的变成有声的，教师还可以利用多媒体给学生创设恰当的教学情境，更好地突破教学的重点以及难点，从而让学生更好地形成完整的数学知识体系，提高学生的数学素养。 关键词：数学教学；多媒体教学；用武之地相得益彰 多媒体技术的出现，使我们的教学也发生了很大的改变与进步。多媒体作为一种辅助教学工具，一种先进的教学手
从2000年成立至今,十年间纪源资本经历了中国私募股权投资行业的起起伏伏,见证了一个行业的周期轮转。但纪源资本一直保持着低调的身姿,调整着步伐,冷静地做事。纪源资本在私
本文介绍了一款新型模拟软件wxAMPS,并根据仿真要求对软件进行了改进.通过改进的wxAMPS 对单结的pin结构非晶硅太阳电池进行仿真研究,从太阳能电池窗口层的仿真分析中,得到了
杂环,特别是五元含硫杂环,在天然产物、医药分子和材料化学等领域广泛存在.例如艾沙托立宾,一种新型的鸟苷类似物,可作为TLR7激动剂[1];法罗培南钠是一种可有效杀死结核分枝
环戊二烯基负离子(cyclopentadienyl,Cp)及五甲基环戊二烯负离子(Cp*)拥有6个π电子,能与过渡金属通过σ键和π键形成稳定的配合物,在过渡金属催化的氢化、聚合等领域有着广