【摘 要】
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本文应用量子化学计算的方法,对MOCVD中生长AlN的气相化学反应路径进行探讨.分别计算了TMA热解反应和加合反应路径的分子构型和势能面,同时考虑过量的H2和NH3对化学反应路径的影响.计算结果表明:TMA直接热解并分解出CH3自由基的能垒很高,这条路径很难进行下去.
【机 构】
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江苏大学能源动力学院,江苏,镇江212013
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本文应用量子化学计算的方法,对MOCVD中生长AlN的气相化学反应路径进行探讨.分别计算了TMA热解反应和加合反应路径的分子构型和势能面,同时考虑过量的H2和NH3对化学反应路径的影响.计算结果表明:TMA直接热解并分解出CH3自由基的能垒很高,这条路径很难进行下去.
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