低气压射频及甚高频容性耦合等离子体源的发展趋势及相关物理问题

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【摘要】

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<正>平行板式的低气压容性耦合等离子体源(Capacitively Coupled Plasma,CCP)由于设备结构简单,空间均匀性好等特点,已广泛地应用于材料表面处理工艺中,如半导体芯片刻蚀及薄

【作者】

：

宋远红徐翔王友年

【机构】

：

大连理工大学物理与光电工程学院;

【发表日期】

：

2004年期

【基金项目】

：

国家重大科技专项(No.2011ZX02403-001);国家自然科学基金(No.10635010、10775025);教育部新世纪优秀人才基金(No.NCET-08-0073)资助课题

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<正>平行板式的低气压容性耦合等离子体源(Capacitively Coupled Plasma,CCP)由于设备结构简单,空间均匀性好等特点,已广泛地应用于材料表面处理工艺中,如半导体芯片刻蚀及薄膜沉积、薄膜硅太阳能电池制备等工艺。为了提高材料表面处理的效率,如提高芯片的刻蚀率和薄膜的沉积速率,目前工业界中趋向于通过提高电源的驱动频率来实现。电源的驱动频率从传统的射频(13.56MHz)到几

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