【摘 要】
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纳米金刚石具有优异的物理化学性质,有望成为理想的电子器件场发射阴极材料.本文利用纳米金刚石粉末配制出适用于热喷涂的浆料,采用液相等离子喷涂方法在金属钛片表面制备出高金刚石含量的纳米结构涂层.在真空炉中将涂层加热至700℃并保温30min,研究热处理工艺对涂层场发射性能的影响.利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等微观分析仪器对金刚
【机 构】
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上海工程技术大学 材料工程学院,上海 201620
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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纳米金刚石具有优异的物理化学性质,有望成为理想的电子器件场发射阴极材料.本文利用纳米金刚石粉末配制出适用于热喷涂的浆料,采用液相等离子喷涂方法在金属钛片表面制备出高金刚石含量的纳米结构涂层.在真空炉中将涂层加热至700℃并保温30min,研究热处理工艺对涂层场发射性能的影响.利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等微观分析仪器对金刚石阴极样品的成分、结构及表面形貌进行了分析表征,并测试了样品的场发射特性曲线.结果 表明：纳米金刚石阴极样品的开启电场为8.3V/μm,在20V/μm的电场下,场发射电流密度为75μA/cm2.热处理后,在相同电场作用下,样品的场发射电流密度提高.主要原因是纳米金刚石涂层与基体发生了键合反应而形成Ti-TiC-diamond的网络结构,这种结构大大提高了涂层的电子输运能力.
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