【摘 要】
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采用金属有机化合物分解(MOD)法制备出BiTiO介电薄膜.然后在560℃退火30min得到(111)取向的BiTiO薄膜.首次成功地对BiTiO薄膜进行了反应离子刻蚀,使用的气体分别为氧气(O)、
【出 处】
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第四届中国功能材料及其应用学术会议
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采用金属有机化合物分解(MOD)法制备出Bi<,2>Ti<,2>O<,7>介电薄膜.然后在560℃退火30min得到(111)取向的Bi<,2>Ti<,2>O<,7>薄膜.首次成功地对Bi<,2>Ti<,2>O<,7>薄膜进行了反应离子刻蚀,使用的气体分别为氧气(O<,2>)、六氟化硫气体(SF<,6>)、三氟甲烷气体(CHF<,3>)以及SF<,6>/CHF<,3>混合气体.采用原子力显微镜和X射线衍射对退火前后的Bi<,2>Ti<,2>O<,7>薄膜的形貌和结构进行了对比分析.结果表明,退火前Bi<,2>Ti<,2>O<,7>薄膜为多晶薄膜,晶粒间距松散,无定型取向.退火后的薄膜中,结晶微粒排列紧密,呈现出较强的取向性.原子力显微镜图像还显示出薄膜生长的各向异性.
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