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膜厚对亚波长铝光栅红外反射率的影响
【机 构】
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电子科技大学 薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054
【出 处】
:
第七届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2010年期
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