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目的:目前高灵敏度传感器阵列在光声光热效应与光声检测等领域具有极为广泛的应用,而超薄,柔性的薄膜材料以及微悬臂梁则是相关探测器中的最为关键的元件,例如声学,热压传感器等。为了确保高灵敏度(即保证较小压力下的大偏转量),传统的刚性薄膜(通常为硅基,陶瓷,碳基,甚至类金刚石材料)必须具有较大的横向尺度(毫米厘米级别)和微米量级的厚度,然而这类薄膜在日益小型化和集成化的传感器应用发展趋势中受到了很大限制。当前MEMS和光刻技术的发展使制备超薄薄膜(小于1微米)成为可能,但是进一步缩小传感薄膜的尺寸使其达到微尺寸要求(100微米)却会导致薄膜弯曲刚度的急剧增加,从而降低传感器的灵敏度,这种情况是无法通过降低薄膜厚度来进行补偿的。而目前采用聚合物,液晶,脂类化合物制备高柔性薄膜的尝试并不成功,得到的薄膜很难保持足够的机械强度和适应不同环境要求。因此,为了解决现有的技术很难实现传感器微型化(尺寸从微尺度到纳尺度转换)的问题,需要对传感薄膜的基本结构性能进行改进,而通过选择合适的纳米填料和媒质材料,构建纳米复合薄膜是最现实可行的方法之一。