【摘 要】
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非晶含氢碳氮(a-CNxH)薄膜作为一种新型超润滑薄膜材料,由于具有高弹性、高硬度、耐腐蚀、低摩擦系数、高耐磨寿命以及高化学稳定性等优异的性能,从而备受材料学家的青睐。19
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州730000
【出 处】
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2008年中国机械工程学会年会摩擦学专题会议
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非晶含氢碳氮(a-CNxH)薄膜作为一种新型超润滑薄膜材料,由于具有高弹性、高硬度、耐腐蚀、低摩擦系数、高耐磨寿命以及高化学稳定性等优异的性能,从而备受材料学家的青睐。1990年,Muller首次报道了a-CNxH薄膜具有高的抗磨性能和极低的摩擦系数。随后十几年,人们开始对其摩擦学性能进行了研究。发现,由于制备工艺、沉积参数等不同,a-CNxH薄膜的内在特性差别很大,使得各个研究者观察到的现象不同。本文用自行研制的DC-RF-PECVD制备了a-CNxH薄膜,并探讨了不同沉积参数对薄膜摩擦性能的影响。
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