极紫外、软X射线和X射线多层膜技术

来源 :2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hanqianggege
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本文首先介绍了极紫外与软X射线多层膜光学技术的研究意义和主要进展。然后,给出作者在软X射线多层膜分束镜和X射线超反射镜方面的研究,给出相应的实验结果。
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