【摘 要】
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随着薄膜太阳能电池的兴起，微晶硅薄膜由于其较稳定的效率引起人们的广泛关注，而降低成本和提高效率是微晶硅薄膜电池发展应用的主要方向。在本文中我们采用空心阴极代替传统的电容耦合平板电极放电，利用等离子体增强化学气相沉积技术，以二氯二氢硅(SiH2Cl2)为前驱反应气体、氢气(H2)为稀释气体，分别在玻璃衬底及柔性衬底(PI、PET)上制备氢化微晶硅(μ c-Si∶H)薄膜。
【机 构】
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北京印刷学院等离子体物理及材料研究室,北京102600 北京理工大学理学院,北京100081
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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随着薄膜太阳能电池的兴起，微晶硅薄膜由于其较稳定的效率引起人们的广泛关注，而降低成本和提高效率是微晶硅薄膜电池发展应用的主要方向。在本文中我们采用空心阴极代替传统的电容耦合平板电极放电，利用等离子体增强化学气相沉积技术，以二氯二氢硅(SiH2Cl2)为前驱反应气体、氢气(H2)为稀释气体，分别在玻璃衬底及柔性衬底(PI、PET)上制备氢化微晶硅(μ c-Si∶H)薄膜。
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