【摘 要】
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用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜.真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响.膜厚较薄时(δ≤15nm)有利
【机 构】
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山西师范大学化学与材料科学学院(山西临汾)
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用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜.真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响.膜厚较薄时(δ≤15nm)有利于易磁化轴(c轴)垂直于膜面取向,从而具有高的垂直磁各向异性,500℃退火后,15nm厚的CoPt薄膜的垂直矫顽力为4.2kOe,面内矫顽力为2.3kOe.
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