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根据半导体材料电阻率随温度变化的性质研究硅温度传感器的温敏特性,给出其基本结构和制造工艺,并对硅温度传感器的电阻～温度特性、灵敏度及工作电流进行了分析,并制作出硅温度传感器样品.
硅温度传感器的研制
【摘 要】
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根据半导体材料电阻率随温度变化的性质研究硅温度传感器的温敏特性,给出其基本结构和制造工艺,并对硅温度传感器的电阻～温度特性、灵敏度及工作电流进行了分析,并制作出硅温
【机 构】
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重庆邮电大学,光电工程学院,重庆
【出 处】
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第十二届全国青年通信学术会议
【发表日期】
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2007年期
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