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本文着重介绍了阴极弧离子镀中,阴极弧的燃烧特性、金属等离子体的产生、电荷态的分布、离子的速度等等离子体行为,并利用TOF技术探讨了反应气体压强对等离子体的影响.同时针对离子镀中工件偏压形成等离子体鞘层等问题,讨论了鞘层的空间尺度、形状等对成膜的影响。
离子镀膜中的等离子体行为及其对成膜的影响
【摘 要】
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本文着重介绍了阴极弧离子镀中,阴极弧的燃烧特性、金属等离子体的产生、电荷态的分布、离子的速度等等离子体行为,并利用TOF技术探讨了反应气体压强对等离子体的影响.同时针
【机 构】
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深圳市复合材料重点实验室哈尔滨工业大学材料学院
【出 处】
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第七届广东省真空学会学术研讨会
【发表日期】
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2005年11期
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