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设计了一种微小电容阵列来补偿电容式微加速度计的零偏,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明其具有约0.01fF的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为0.18um的CMOS工艺下,取得了1.23％的相对精度,表明这种方法是可行性。
补偿电容式微加速度计零偏的一种方法
【摘 要】
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设计了一种微小电容阵列来补偿电容式微加速度计的零偏,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明其具有约0.01fF的测量精度。采用该种电容测量方法对微小
【机 构】
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清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
【出 处】
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中国航空学会飞行器控制与操纵第十二次学术交流会暨陀螺与惯导第三次学术交流会
【发表日期】
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2007年8期
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