【摘 要】
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影响能谱分析结果准确性的因素有很多,如：加速电压；电子束流的稳定性以及束斑的大小；真空状态；分析所选用线系以及样品的物理状态,几何形态等。本文通过对全国微束分析标准化
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影响能谱分析结果准确性的因素有很多,如：加速电压；电子束流的稳定性以及束斑的大小；真空状态；分析所选用线系以及样品的物理状态,几何形态等。本文通过对全国微束分析标准化技术委员会提供的J64 Fe—Cr铁铬镍合金,D1 5 BaTiO钛酸钡,J25 1nP磷化铟,K32AgAsS硫砷银矿标样的分析,筛选出适合不同材料的电镜一能谱工作参数,使标样分析的测量误差＜±1％,在对应的条件下分析耐热不锈钢,电容,普通不锈钢等试样,其分析总量误差＜±3％。
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