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该文采用微马达与光电二极管一起集成，组成光电测速系统。在马在转子下面集成几个光电二极管，利用反偏二极的暗电流和亮电流的变化来测量马达的转速。它提高了马达的测速范围，解决了视频摄像测速系统测速低的问题。此外，它还具有测试方便，工艺兼容、准确等优点。还可以制成斩光器。成为光、机、电的MEMS系统。
光电集成测速硅静电微晃动马达
【摘 要】
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该文采用微马达与光电二极管一起集成，组成光电测速系统。在马在转子下面集成几个光电二极管，利用反偏二极的暗电流和亮电流的变化来测量马达的转速。它提高了马达的测速范围，解
【机 构】
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清华大学微电子所(北京)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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