改善金刚石薄膜涂层刀具性能的CVD后处理新工艺

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【摘要】

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【作者】

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张志明孙方宏沈荷生陈明万永中

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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涂层刀具金刚石薄膜表面粗糙度碳源浓度反应压力

【基金项目】

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国家“863”计划新材料领域资助项目(715-002-0010)。

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