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本文提出应用场离子显微镜原子探针（AP-FIM）技术研究Ni-Cr-Si合金中内氧化物生长的界面结构。这技术很适合于研究合金中原子分布及氧化物与合金之间的界面结构，并具有原子尺度的分辨。AP深度剖析表明在合金中Si和Cr原子的分布比较均匀，而Ni原子分布有某些起伏。在低镍浓度区存在氧化物界面。界面包含CrO，NiO，CrO＜，2＞和NiO＜，2＞等。从此可推论合金内氧化的机理，首先氧分子被吸附到合金表面，分解成氧原子（O2→2O），然后氧原子通过晶界扩散到合金内部形成氧化物（M+O→MO），如果氧的浓度继续增加，便形成二氧化物（MO+O→MO＜，2＞）。