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本文介绍了ZQJ291H氦质谱的主要研制技术、基本原理、在检漏过程中的应用及分析、应用前景并提出了改进的方向。通过分析认为：ZQJ291H氦质谱检漏仪及软件能很好地满足航天器管路系统总漏率的测试工作，能明显地测试出空气中0.1ppm氦浓度的变化；做好检漏仪的保养与维护，采用小流量的循环泵，增加测试容器内气体均匀性均可以提高测试结果的稳定性；为了更好地满足总漏率测试的需要，应该尽量减小标气阀、样气阀和小孔之间的体积。