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多孔硅(PSi)是一种具有优良光学和电化学性质的传感材料,它主要通过电化学刻蚀获得.通过电化学参数的精确调制可实现多孔硅孔结构,如孔道直径,孔隙率及其在轴向空间变化周期的任意调控.PSi 的光学特性与其孔结构有显著的相关性,目前可获得的PSi 光学材料主要有:单层Fabry-Perot 干涉薄膜,多层干涉薄膜,多孔硅微腔(Microcavity)及梳状滤光薄膜(Rugate filter).