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国内制氧机经过了50多年的发展，从50m3/h开始，发展到目前已经投入使用的30000m3/h大型制氧机，并且40000m3/h甚至50000m3/h等级的空分也已经在设计生产中了。制氧工艺经过了石头蓄冷器换热器流程、全低压板式切换式流程、常温分子筛吸附增压膨胀机流程、规整填料上塔和全精馏制氩流程。制氧机技术随着钢铁冶金、化工行业的发展而同步发展。低温法空气分离技术在压缩系统、空气净化和预冷系统、制冷系统、精馏系统、自动控制系统等方面都取得了长足的进步。本文结合笔者的理解和现有掌握的资料，简单介绍一下低温法制氧设备最新技术发展。