【摘 要】
：
本文采用火焰水解法在Si衬底上淀积了用于光波导下包层材料的SiO膜,然后将其放入高温炉在空气中进行不同温度的退火处理.我们利用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS),X
【机 构】
：
吉林大学集成光电子国家重点实验室(长春)吉林大学文学院(长春)
论文部分内容阅读
本文采用火焰水解法在Si衬底上淀积了用于光波导下包层材料的SiO<,2>膜,然后将其放入高温炉在空气中进行不同温度的退火处理.我们利用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射仪(XRD)及可变入射角椭圆偏振仪(VASE)对SiO<,2>膜进行了测试分析.当退火温度达到1400℃时,SiO<,2>膜致密均匀,适合用作波导的下包层.
其他文献
本文研究了均相体系中,钨为催化剂,30％H2O2为氧化剂,绿色催化氧化环己烯生成己二酸的循环反应条件和催化剂物种在反应过程中的变化情况.考察了反应温度、反应时间等因素对催化
本文用溶剂热方法制备了纳米硫化镉作为半导体光催化剂,光化学沉积铂得到Pt/CdS催化剂.以简单的光活化处理Pt/CdS,即可有效减少表面缺陷.光催化制氢反应证明其催化剂活性提高
转换屏在辐射照相系统中具有很重要的作用,它的效率影响整个系统的性能.本文对透明的具有较大厚度的CsI:Tl转换屏的效率进行了详细的分析,推导了其效率的表达形式,并得到了实
由于GRIN球透镜的光线轨迹为通过对称中心的平面曲线,所以本文研究了折射率呈二次抛物线型的GRIN球透镜在极坐标下的光线轨迹方程式.
基于目前图像传感器和计算机软硬件技术水平,提出了一种实现超高速视频流数据长时间连续记录方法.以DSP为核心的控制电路直接驱动图像传感器的视频流,将其一分为二,并转换为
钝感炸药爆轰产物驱动金属飞片的研究工作直接同武器设计相联系.为探索研究爆轰产物驱动金属飞片的运动规律及金属材料本构关系对爆轰产物驱动飞片自身飞行的影响,用任意反射
介绍了以Nd:YAG激光器的三倍频光作泵浦源,BBO作非线性光学晶体,在410—2200nm波段可连续调谐的光参量振荡器(OPO)的工作原理和实验装置,测定了其调谐曲线和输出能量,并对实
对CP43进行不同温度处理5分钟,采用锁模Ar激光器输出的514.5nm的皮秒光脉冲作为激励光,通过探测CP43的荧光光谱特性,来研究色素分子间的能量传递.分析表明,20℃处理后,CP43内
本文采用火焰水解法(FHD)在单晶Si片上快速淀积SiO/SiO-GeO厚膜,再经过高温玻璃化处理,获得了玻璃态的平面波导材料.下包层SiO膜的厚度约为40μm,波长1550nm处的折射率为1.44
将用MOCVD法生长的GaN基外延片做成1mm×1mm的大芯片,对其进行特殊的封装.封装成的LED在工作电流为350mA,可视角高达125°时,轴向亮度能达到21万cd/m,输出积分功率能达到1.51