超高级别微电子洁净厂房的测试

来源 :第十八届国际污染控制学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jerry_ic
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超高级别微电子洁净厂房中各种环境参数(洁净度,温/湿度,风量,风速,压差等)对微电子行业的工艺有着至观重要的作用,直接影响产品的质量.本文介绍了和超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准,并且通过对一座大型半导体生产厂0.1微米1级洁净厂房的实际测试,总结了测试超高级别洁净厂房的一般测试项目,并对测试方法和采用的主要仪器进行了总体介绍.
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