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针对UV/O3工艺投资、运行成本较高的问题,提出采用紫外光激发空气产生低浓度O3,利用该部分O3与紫外组合成为UV-microO3工艺。以氯苯、苯胺和甲基叔丁醚为研究对象,对比研究了UV-microO3、UV/空气工艺和UV工艺的去除有机物能力,考察了有机物初始浓度、进气流量以及羟自由基清除剂——叔丁醇对UV-microO3工艺去除有机物的影响作用,并分别计算了三种有机物去除中羟自由基的贡献比例。