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由于准分子激光波长短、光子能量高,且常规材料对位于紫外波段的激光辐射具有较高吸收率,因此准分子激光在集成电路光刻、精密微细加工及医疗等领域被广泛应用。窄线宽、大能量的输出是准分子激光技术发展的重要目标。本文结合线宽压窄技术方案设计了193nmArF准分子激光器复合腔结构,利用单放电腔同时实现了窄线宽、大能量的激光输出。